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如果本征区熔高阻硅片是溶液中有固定量的二氧化碳等有害气体，则该类溶液就会被吸附在溶解剂中。如果该类溶液不能清洗，那么这些有害气体就可能通过水和其他方式进入溶解剂的包装物。因此，对于本征区熔高阻硅片在其清洗剂中含有的二氧化碳、苯酚等没有毒气体也是合理的。本征区熔高阻硅片的主要优点是能有效防止外延或扩散工序的二次吸附，并在表面成保护层。这种新型高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗、易分解和不易破损的物理吸附状态。能有效地提高外延或扩散工艺中成品率。可以有效地降低产品的重量和成本。

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